راه‌اندازی سیستم لایه نشانی تبخیری در خلا توسط گروه مهندسی برق دانشگاه

راه‌اندازی سیستم لایه نشانی تبخیری در خلا توسط گروه مهندسی برق دانشگاه


راه‌اندازی سیستم لایه نشانی تبخیری در خلا توسط گروه مهندسی برق دانشگاه


دکتر نوید علائی شینی عضو هیئت‌علمی گروه مهندسی برق دانشگاه شهید چمران اهواز گفت: با استفاده از لایه نشانی تبخیری در خلا برای اولین بار در این دانشگاه موفق شدیم لایه نازک چند صد نانومتری مس را با هدایت الکتریکی خوب، ایجاد کنیم.

به گزارش روابط عمومی دانشگاه شهید چمران اهواز، وی ادامه داد: این آزمایش با بهره‌گیری از تجهیزات خریداری‌شده در نمایشگاه‌های داخل کشور و با حمایت معاونت پژوهش و فناوری دانشگاه، انجام‌شده است.

وی افزود: فن‌آوری لایه‌های نازک (Thin Film) با ایجاد لایه‌های نانومتری و میکرومتری، از فرآیندهای پایه و مهم در ساخت افزاره های نیم رسانا به شمار می‌روند.

این عضو هیئت‌علمی دانشگاه شهید چمران اهواز بیان کرد: روش‌های متنوعی برای ایجاد لایه‌های نازک ارائه‌شده که لایه نشانی تبخیری در خلا (PVD) از فن‌آوری‌های مرسوم برای ایجاد لایه‌های فلزی است.

علائی شینی اضافه کرد: از کاربردهای لایه‌های نازک فلزی، ایجاد اتصالات الکتریکی برای افزاره ها، ساخت حسگرهای فشاری (Strain Guage) ، ساخت حسگرهای دمای (RTD) ، ساخت حسگرهای رطوبت، ساخت حسگرهای گاز مقاومتی و ساخت دیودهای شاتکی است.

این عضو هیئت‌علمی دانشگاه شهید چمران اهواز، تصریح کرد: سیستم لایه نشانی تبخیری در خلا دارای یک محفظه خلا است که قابلیت ایجاد خلا تا مرتبهTorr 10-5 را دارد و می‌توان انواع آزمایش‌های مواد در خلا و حرارت دهی قطعات کوچک در خلا و اندازه‌گیری همزمان در خلا و اتمسفر کنترل شده را با این سیستم انجام داد .
وی، گفت: گروه برق دانشگاه شهید چمران اهواز در زیرگروه الکترونیک در سال‌های اخیر در زمینه شبیه‌سازی و ساخت افزاره های نیمه‌رسانا فعالیت‌های چشمگیری داشته است که از آن جمله به بومی‌سازی فن‌آوری ساخت سلول‌های خورشیدی و چاپ مقالات متعدد در معتبرترین مجلات ISI می‌توان اشاره کرد.

علائی شینی، اظهار امیدواری کرد با تکمیل تجهیز آزمایشگاه، ساخت حسگرهای نیم رسانا به سرعت دنبال شود و با طی مراحل بهینه‌سازی فرآیندی، نمونه‌های صنعتی مختلفی را بتوان به عنوان محصول ارائه کرد.

 وی در پایان اظهار کرد: گروه مهندسی برق با در اختیار داشتن چند آزمایشگاه پیشرفته در حال آماده سازی برای ارائه برخی خدمات الکترونیکی درون و برون دانشگاهی است .

آدرس کوتاه :